公布日：2023.11.07
申请日：2023.09.19
分类号：C02F9/00(2023.01)I;C02F1/62(2023.01)N;C02F1/66(2023.01)N;C02F1/56(2023.01)N;C02F1/52(2023.01)N;C02F1/58(2023.01)N;C02F1/44(2023.01)N;C02F1
/00(2023.01)N;C02F101/14(2006.01)N;C02F101/20(2006.01)N
摘要
针对半导体废水进行分类，半导体废水主要由含铜，镍，锡重金属废水，含氟离子废水以及七个研磨硅片而产生的废水，将三种废水统一通过三组分装池完成封装，配合完成处理工序；可以大量的减少污水排放，减轻排放设备负担；降低了废水处理系统的成本；回用水作为再生资源，是以后企业污水排放及利用的发展趋势。
权利要求书
1.一种半导体废水处理工艺，包括一下步骤：步骤一：针对半导体废水进行分类，半导体废水主要由含铜，镍，锡重金属废水，含氟离子废水以及七个研磨硅片而产生的废水，将三种废水统一通过三组分装池完成封装，配合完成处理工序；铜，镍，锡重金属废水的集中回收池内率先加入氢氧化钠调节废水的PH值，再加入硫化钠与废水中的镍离子反应生成沉淀，后续将适量的聚合氯化铝与聚丙烯酰胺添加入沉淀的废水池内，并且池内会形成絮凝，最后将金属硫化物添加至絮凝的废水池内完成最终沉淀；步骤二：含氟离子废水的集中回收池内含氟离子废水和氯化钙发生反应，控制PH值在10-11，保证投加过量的消石灰，通过化学反应生产了氟化钙沉淀；进入絮凝池，投加硫酸铝和聚丙烯酰胺，结成大片絮凝物，控制PH值在7-8之间，落在斜板沉淀池内；步骤三：研磨废水的集中回收池内的废水流经调节池内，检查浊度情况；浊度合格后可无需处理；若浊度不合格，则进行回流处理，将回流的研磨废水调节池内进行二次调节；以上步骤三的浊度控制环节循环进行，直至浊度合格为止；上述废水分类采用了超滤膜作为颗粒以及悬浮物的分离收集结构。
2.根据权利要求1所述的半导体废水处理工艺；其特征是：铜，镍，锡重金属废水在处理过程中，需要经过砂滤去除废水中的悬浮物杂质，最后通过树脂对废水进行深度处理，使废水中的镍浓度达到上海半导体一级污染物排放标准（<0.1mg/L);含锡废水处理工艺与除镍工艺相似，先用氢氧化钠调节PH，再添加硫化钠反应，再添加聚合氯化铝与聚丙烯酰胺加速沉淀，砂滤，最后利用树脂交换器进行深度处理，保证出水离子浓度达标排放。
3.根据权利要求1所述的半导体废水处理工艺；其特征是：含氟离子废水的集中回收池出水水质F-含量<10mg/L，符合排放标准。
4.根据权利要求1所述的半导体废水处理工艺；其特征是：所述超滤膜具孔径0.001μm～0.01μm，将过滤筒装设备内部上下分层分布多组超滤膜具，从而达到逐层分离的功效。
发明内容
为达到上述目的，本发明的技术方案如下：一种半导体废水处理工艺，包括一下步骤：步骤一：针对半导体废水进行分类，半导体废水主要由含铜，镍，锡重金属废水，含氟离子废水以及七个研磨硅片而产生的废水，将三种废水统一通过三组分装池完成封装，配合完成处理工序；铜，镍，锡重金属废水的集中回收池内率先加入氢氧化钠调节废水的PH值，再加入硫化钠与废水中的镍离子反应生成沉淀，后续将适量的聚合氯化铝与聚丙烯酰胺添加入沉淀的废水池内，并且池内会形成絮凝，最后将金属硫化物添加至絮凝的废水池内完成最终沉淀；步骤二：含氟离子废水的集中回收池内含氟离子废水和氯化钙发生反应，控制PH值在10-11，保证投加过量的消石灰，通过化学反应生产了氟化钙沉淀；进入絮凝池，投加硫酸铝和聚丙烯酰胺，结成大片絮凝物，控制PH值在7-8之间，落在斜板沉淀池内；步骤三：研磨废水的集中回收池内的废水流经调节池内，检查浊度情况；浊度合格后可无需处理；若浊度不合格，则进行回流处理，将回流的研磨废水调节池内进行二次调节；以上步骤三的浊度控制环节循环进行，直至浊度合格为止；上述废水分类采用了超滤膜作为颗粒以及悬浮物的分离收集结构。
根据权利要求1所述的半导体废水处理工艺；其特征是：铜，镍，锡重金属废水在处理过程中，需要经过砂滤去除废水中的悬浮物杂质，最后通过树脂对废水进行深度处理，使废水中的镍浓度达到上海半导体一级污染物排放标准（<0.1mg/L);含锡废水处理工艺与除镍工艺相似，先用氢氧化钠调节PH，再添加硫化钠反应，再添加聚合氯化铝与聚丙烯酰胺加速沉淀，砂滤，最后利用树脂交换器进行深度处理，保证出水离子浓度达标排放。
根据权利要求1所述的半导体废水处理工艺；其特征是：含氟离子废水的集中回收池出水水质F-含量<10mg/L，符合排放标准，根据权利要求1所述的半导体废水处理工艺；其特征是：所述超滤膜具孔径0.001μm～0.01μm，将过滤筒装设备内部上下分层分布多组超滤膜具，从而达到逐层分离的功效。
本发明的有益效果为：1、可以大量的减少污水排放，减轻排放设备负担；2、降低了废水处理系统的成本；3、回用水作为再生资源，是以后企业污水排放及利用的发展趋势。
（发明人：韩波）
